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BlueWave是一家著名的美國半導體設備、材料生產(chǎn)商。BlueWave提供多種薄膜制備系統(tǒng)，包括脈沖激光沉積(PLD)、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)、反應濺射、熱絲化學氣相沉積(HFCVD)、熱化學氣相沉積系統(tǒng)(TCVD)。